精密劃片機(jī)屬于晶圓封測(cè)切割類設(shè)備

國(guó)產(chǎn)劃片機(jī) 2022-05-04

從半導(dǎo)體劃片機(jī)發(fā)展史了解切割機(jī)是使用刀片，高精度地切斷硅、玻璃、陶瓷等被加工物的裝置，廣泛用于半導(dǎo)體晶片、EMC導(dǎo)線架、陶瓷薄板、PCB、藍(lán)寶石玻璃等材料的精密切割。然而，精密劃片機(jī)屬于晶圓封測(cè)切割類設(shè)備，國(guó)內(nèi)劃片機(jī)目前以砂輪機(jī)械切割為主，激光是補(bǔ)充。劃片機(jī)主要包括砂輪劃片機(jī)和激光劃片機(jī)：

（1）國(guó)產(chǎn)砂輪劃片機(jī)是綜合了水氣電、空氣靜壓高速主軸、精密機(jī)械傳動(dòng)、傳感器及自動(dòng)化控制等技術(shù)的精密數(shù)控設(shè)備，也稱為精密砂輪切割機(jī)。

（2）補(bǔ)充用到的激光劃片機(jī)是利用高能激光束照射在工件表面，促使被照射區(qū)域局部熔化、氣化、從而達(dá)到劃片的目的。

國(guó)內(nèi)劃片機(jī)市場(chǎng)以砂輪劃片機(jī)為主：

（1）激光切割不能使用大功率以免產(chǎn)生熱影響區(qū)（HAZ）破壞芯片。

（2）激光切割設(shè)備除了價(jià)格貴，而且維護(hù)成本較高。

（3）激光切割不能做到一次切透（激光脈沖持續(xù)時(shí)間對(duì)HAZ的影響），因而第二次切割還是用劃片刀來(lái)最終完成。

沈陽(yáng)漢為科技專業(yè)從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的廠商。在精密切磨領(lǐng)域，生產(chǎn)有HAD1600、1800、2600、3310等精密劃片機(jī)。適用于IC、分立器件、LED、光通訊等行業(yè)。